국립한밭대 노진성 교수, '반도체 정밀 검사 핵심 기술' 민간 기업 기술 이전
대본
- 상현국립한밭대학교의 노진성 교수가 개발한 반도체 정밀 검사 기술이 민간 기업으로 이전되었습니다.
- 지민이번에 기술을 이전받은 곳은 ㈜뮤텍코리아라는 기업이고, 기술이전 금액은 1억 5천만 원이에요.
- 상현구체적으로 어떤 기술이 이전된 건가요?
- 지민단촬상 타원분광법을 이용한 반도체 검사 장치라는 등록특허인데, 쉽게 말하면 반도체 위에 입혀진 아주 얇은 막의 두께나 성질을 빛을 이용해 확인하는 기술이에요.
- 상현기존에 쓰이던 타원분광 방식과 비교했을 때 어떤 점이 다른지 궁금해요.
- 지민기존 방식보다 측정 시간을 줄일 수 있고, 검사 시스템 구성도 더 간소하게 만들 수 있다는 특징이 있어요.
- 상현반도체 공정이 점점 미세해지다 보니 이런 고속, 고정밀 검사 기술이 더 중요해지는 상황이군요.
- 지민맞아요. 반도체 제조 공정에서 요구되는 고속과 고정밀 광학 계측 장비에 활용될 수 있어서 검사 효율을 높이는 데 기여할 것으로 기대하고 있어요.
- 상현이번 사례는 대학의 연구 성과가 실제 산업 현장의 장비 개발로 연결되었다는 점이 눈에 띄네요.
- 지민네, 대학이 확보한 원천기술을 국내 장비 기업의 제품 개발 및 사업화와 연계했다는 점에서 산학협력의 성과로 평가받고 있어요.
- 상현기술을 가져간 뮤텍코리아는 앞으로 이 특허를 어떻게 활용할 계획인가요?
- 지민이번 특허를 활용해서 차세대 반도체 광학 검사 장비의 사업화 기반을 강화할 계획이라고 밝혔어요.
- 상현노진성 교수 연구팀은 평소에 어떤 분야를 주로 연구하고 있나요?
- 지민반도체 제조와 첨단 패키징 분야에서 정밀 계측이나 비파괴 검사, 그리고 인공지능 기반의 결함 분석 기술을 연구하고 있어요.
- 상현이번 기술이전 절차는 지난 9월 계약 체결 이후 최근 등록특허 양도 방식으로 완료되었군요.
- 지민네, 이번 성과가 국내 반도체 검사 및 계측 기술의 국산화와 산업 경쟁력 향상에 기여할 수 있을지 지켜봐야겠어요.
AI 진행자 상현·지민이 원문 기사를 바탕으로 나눈 대화입니다. 정확한 내용은 원문 기사를 확인하세요.