정전기력으로 웨이퍼 잡고 열 공급까지... 보부하이테크, SEDEX 2026서 히터·정전척 선보여
대본
- 상현보부하이테크가 이번 SEDEX 2026 전시회에서 반도체 공정에 쓰이는 히터와 정전척 기술을 선보이고 있어요.
- 지민정전척이라는 용어가 생소한데, 이게 정확히 어떤 역할을 하는 부품인가요?
- 상현쉽게 말하면 정전기력을 이용해서 반도체 웨이퍼를 장비 안에 딱 붙여서 고정해 주는 부품이에요.
- 지민기계로 꾹 누르는 게 아니라 전기적인 힘으로 잡는다는 말씀이시죠?
- 상현맞아요. 물리적으로 누르는 방식과 다르게 전기적 인력을 활용하는데, 제품 구조에 따라 웨이퍼의 열 관리까지 함께 할 수 있어요.
- 지민그렇다면 히터 제품군도 함께 전시 중이라고 들었는데, 어떤 종류가 있나요?
- 상현세라믹 소재를 활용한 알엔 히터와 메탈 히터를 비롯해서, 반도체 패키징 공정에 필요한 첨단패키징 히터도 있어요.
- 지민세라믹 히터는 어떤 원리로 열을 공급하는 건가요?
- 상현전류가 발열체를 지날 때 생기는 저항열을 활용해서 온도를 조절하는 방식이에요.
- 지민이번 전시에서는 히팅 자켓이라는 부품도 눈에 띄는데, 이건 어디에 쓰이는 건가요?
- 상현배관이나 장비 외부를 감싸서 온도를 유지해 주는 부품인데, 공정 가스가 이동하는 배관에 주로 쓰여요.
- 지민배관 온도가 낮아지면 물질이 응축될 수도 있으니 온도 관리가 필수겠네요.
- 상현네, 그래서 적절한 온도를 유지하는 게 중요하죠. 보부하이테크는 금속과 세라믹, 폴리머 등 다양한 소재를 써서 이런 부품들을 만들고 있어요.
- 지민1994년에 설립되어 30년 넘게 반도체 부품을 제조해 온 기업이라는 점도 확인되네요.
- 상현전공정과 후공정 장비 모두에 필요한 부품을 공급하고 있다는 점이 특징이에요.
- 지민이번 SEDEX 2026 전시회는 서울 코엑스에서 10월 14일부터 16일까지 사흘간 열리는 거죠?
- 상현맞아요. 한국반도체산업협회가 주최하는 국내 최대 규모의 반도체 전문 전시회예요.
AI 진행자 상현·지민이 원문 기사를 바탕으로 나눈 대화입니다. 정확한 내용은 원문 기사를 확인하세요.