티로보틱스, 반도체 유리기판 이송로봇 美 특허 등록…글로벌 시장 진출 본격화
대본
- 상현티로보틱스가 반도체 유리기판을 옮기는 이송로봇 기술로 미국 특허 등록을 마쳤어요.
- 지민국내와 일본에 이어 미국까지 핵심 기술에 대한 권리를 확보했다는 점이 눈에 띄네요.
- 상현이번에 등록된 특허는 진공 챔버 안에서 기판을 정밀하게 옮기는 장치에 관한 기술이에요.
- 지민진공 챔버라고 하면 공기가 없는 상태를 말하는데, 그 안에서 기판을 다루는 게 쉽지 않을 것 같아요.
- 상현맞아요, 티로보틱스는 기존에 디스플레이 제조 공정에서 쓰이던 진공 이송로봇 기술을 축적해 왔거든요.
- 지민디스플레이용으로 쓰던 정밀 제어 기술을 이제는 차세대 반도체 패키징 분야로 넓히는 거군요.
- 상현네, 특히 이번 대상인 유리기판은 기존 유기 소재 기판보다 평탄도가 높고 치수 안정성이 우수하다는 특징이 있어요.
- 지민유리기판이 마치 아주 매끄럽고 변형이 적은 도화지 같은 역할을 해서 미세한 회로를 그리기에 유리한 거네요.
- 상현정확해요, 인공지능 반도체나 고대역폭메모리처럼 성능이 높은 반도체를 만들 때 이 유리기판의 활용 가능성이 커지고 있어요.
- 지민그런데 유리기판은 깨지기 쉬울 것 같은데, 이송할 때 주의할 점도 따로 있나요?
- 상현그래서 정밀한 위치 제어가 필수예요. 기판 손상을 최소화하면서 공정 장비 사이를 안정적으로 이동시켜야 하거든요.
- 지민티로보틱스는 8.6세대 유기발광다이오드 이송로봇을 개발하며 쌓은 기술을 이번 반도체용 로봇에 적용하고 있군요.
- 상현그렇죠, 대형 기판을 안정적으로 옮겨본 경험을 바탕으로 차세대 패키징 시장 진출을 준비하고 있어요.
- 지민현재 중국과 대만에서도 관련 기술의 특허 출원 절차를 진행 중이라고 들었는데 사실인가요?
- 상현네, 주요 반도체 생산국을 중심으로 특허 포트폴리오를 확대하며 글로벌 제조사와 장비업체를 대상으로 사업 기회를 찾을 계획이에요.
- 지민고정밀 이송 기술의 수요가 늘어나는 만큼, 글로벌 시장에서의 사업화 추진이 어떻게 진행될지 지켜봐야겠어요.
- 상현인공지능 반도체 시장 성장에 맞춰 차세대 공정용 로봇 사업을 본격적으로 추진한다는 입장이에요.
AI 진행자 상현·지민이 원문 기사를 바탕으로 나눈 대화입니다. 정확한 내용은 원문 기사를 확인하세요.